CVD炉

横型管状炉とは何ですか?材料の熱処理と合成のための精密管状炉

横型管状炉は、研究室や産業での熱処理、焼結、アニーリング、材料合成に使用される特殊な熱処理装置です。 CVD、酸化、結晶成長などのプロセスに均一な温度分布を提供する水平円筒型加熱チャンバーを備えています。この記事では、その動作原理、種類、主な仕様、選択基準について説明します。